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Accurate vibration detection of a rough surface - art. no. 683118 会议论文
NANOPHOTONICS,NANOSTRUCTURE,AND NANOMETROLOGY II, Beijing, PEOPLES R CHINA, NOV 12-14, 2007
作者:  Zeng, HL;  Zhou, Y;  Fan, ST;  He, J;  Zeng, HL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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Measurement Of Microvibration  Nanometrology  Interferometry  Vibration Detection