一种光子晶体的制造方法 | |
杜泽杰; 段瑞飞 | |
专利权人 | 中国科学院半导体所 |
公开日期 | 2016-08-30 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 半导体器件 |
申请日期 | 2014-09-01 |
申请号 | CN201410440446.6 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27319 |
专题 | 中科院半导体照明研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜泽杰,段瑞飞. 一种光子晶体的制造方法. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
一种光子晶体的制造方法.pdf(758KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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