SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
一种光子晶体的制造方法
杜泽杰; 段瑞飞
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-08-30
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2014-09-01
申请号CN201410440446.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27319
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
杜泽杰,段瑞飞. 一种光子晶体的制造方法.
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