| 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法; 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法 |
| 郭恩卿; 伊晓燕; 汪炼成; 孙波; 王国宏
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专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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公开日期 | 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
; 2012-09-09
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 一种氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一氮化镓LED外延片,该外延片由衬底,N型氮化镓,多量子阱,铝镓氮EBL和P型氮化镓组成;步骤2:将该氮化镓LED外延片隔离成多个重复单元,每个单元就是一个独立的LED芯片;步骤3:对每个单元上表面的选定区域进行表面处理,使P型氮化镓的表层的中心区域形成电流阻挡层;步骤4:在每个单元上表面制作P电极,该P电极覆盖整个电流阻挡层及P型氮化镓,完成氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作。 |
部门归属 | 中科院半导体照明研发中心
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专利号 | CN102214743A
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语种 | 中文
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专利状态 | 公开
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申请号 | CN201110152904.2
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23510
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专题 | 中科院半导体照明研发中心
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
郭恩卿,伊晓燕,汪炼成,等. 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法, 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法. CN102214743A.
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