| 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法 |
| 冯小明; 赵懿昊; 祁琼; 刘素平; 马骁宇
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-30
; 2011-08-30
; 2011-08-30
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 一种光纤侧圆柱面镀膜旋转装置，包括：一平圆盘，该平圆盘的中心固定一中心轴；一公转件，该公转件为一筒状，套置于平圆盘的中心轴上，该公转件靠近平圆盘的一端横置有多个水平支杆，所述水平支杆的端部枢接有自转件，该自转件与平圆盘的表面摩擦接触；上述部件置于一镀膜室中，在镀膜室中还放置有坩锅，其中每个自转件与待镀光纤连接，当所述公转件转动时带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动。 |
| 部门归属 | 光电子器件国家工程中心
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| 申请日期 | 2009-11-25
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| 专利号 | CN200910241547.X
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN200910241547.X
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| 专利代理人 | 汤保平
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22103
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| 专题 | 光电子器件国家工程中心
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
冯小明,赵懿昊,祁琼,等. 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法. CN200910241547.X.
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