| 氮化镓基紫外-红外双色探测器及制作方法 |
| 邓懿; 赵德刚
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专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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公开日期 | 2011-08-30
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 一种氮化镓基紫外-红外双色探测器,其中包括:一衬底;一欧姆接触层,该欧姆接触层制作在衬底上;一紫外吸收层,该紫外吸收层制作在欧姆接触层上的一侧,该紫外吸收层的面积小于欧姆接触层的面积,在欧姆接触层的另一侧形成一台面;一红外吸收层,该红外吸收层制作在紫外吸收层上;一第一欧姆电极,该第一欧姆电极制作在红外吸收层上;一第二欧姆电极,该第二欧姆电极制作在欧姆接触层上的台面上。 |
部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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专利号 | CN201010034282.9
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语种 | 中文
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专利状态 | 公开
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申请号 | CN201010034282.9
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专利代理人 | 汤保平
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21977
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专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
邓懿,赵德刚. 氮化镓基紫外-红外双色探测器及制作方法. CN201010034282.9.
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