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GaSb单晶衬底表面形貌及残留缺陷研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  程雨
Adobe PDF(4151Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1024/46  |  提交时间：2015/05/29
锑化镓（gasb）  化学机械抛光  二次离子质谱（sims）  Xps  表面形貌