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GaSb单晶衬底表面形貌及残留缺陷研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  程雨
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锑化镓（gasb）  化学机械抛光  二次离子质谱（sims）  Xps  表面形貌  
二次离子质谱分析的应用基础研究 成果
1997
主要完成人:  王佑祥;  查良镇;  姜志雄;  陈春华
收藏  |  浏览/下载：1261/0  |  提交时间：2010/04/13
离子质谱