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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中科院半导体材料科学... [2]
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学位论文 [2]
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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制
学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
梅书哲
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提交时间:2018/06/11
Mocvd
感应加热
温度均匀性
流场温场
建模仿真
AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究
学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
韩东岳
Adobe PDF(5048Kb)
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提交时间:2016/06/03
Aln
Hvpe
应力
流场