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多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  魏振宇
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li, X;  Wei, XL;  Xu, TT;  Ning, ZY;  Shu, JP;  Wang, XY;  Pan, D;  Zhao, JH;  Yang, T;  Chen, Q
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang JM (Wang, Jiaming);  Xu FJ (Xu, Fujun);  Huang CC (Huang, Chengcheng);  Xu ZY (Xu, Zhengyu);  Zhang X (Zhang, Xia);  Wang Y (Wang, Yan);  Ge WK (Ge, Weikun);  Wang XQ (Wang, Xinqiang);  Yang ZJ (Yang, Zhijian);  Shen B (Shen, Bo);  Li W (Li, Wei);  Wang WY (Wang, Weiying);  Jin P (Jin, Peng)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang YX (Zhang Yun-Xiao);  Liao ZY (Liao Zai-Yi);  Zhao LJ (Zhao Ling-Juan);  Pan JQ (Pan Jiao-Qing);  Zhu HL (Zhu Hong-Liang);  Wang W (Wang Wei);  Zhang, YX, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhangyx@semi.ac.cn
Adobe PDF(793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1017/358  |  提交时间：2010/08/17
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang YX (Zhang Yun-Xiao);  Liao ZY (Liao Zai-Yi);  Pan JQ (Pan Jiao-Qing);  Zhou F (Zhou Fan);  Zhu HL (Zhu Hong-Liang);  Zhao LJ (Zhao Ling-Juan);  Wang W (Wang Wei);  Zhang, YX, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhangyx@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  黄祖炎;  韦欣;  王青;  宋国峰
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  郭杰;  彭震宇;  鲁正雄;  孙维国;  郝瑞亭;  周志强;  许应强;  牛智川
Adobe PDF(476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1696/492  |  提交时间：2010/11/23
无权访问的条目 期刊论文
作者:  郭杰;  孙维国;  彭震宇;  周志强;  徐应强;  牛智川
Adobe PDF(321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1671/721  |  提交时间：2010/11/23
氮化镓基双异质结场效应晶体管结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-07-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓亮;  马志勇;  冉学军;  肖红领;  王翠梅;  胡国新;  唐健;  罗卫军
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氮化镓基异质结场效应晶体管结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-03-12, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  马志勇;  王晓亮;  冉军学;  胡国新;  肖红领;  王翠梅;  罗卫军
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