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中国科学院半导体研究所机构知识库
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提交时间:2013/03/17
A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS
会议论文
PROCEEDINGS: IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS 页: 205-208, Cancun, MEXICO, 2011
作者:
Xie J (Xie J.)
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Zhang ML (Zhang M. L.)
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提交时间:2011/12/13
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提交时间:2011/08/16