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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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Xiao HL (Xiao Hongling)
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Wang CM (Wang Cuimei)
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Li JM (Li Jinmin)
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Wang ZG (Wang Zanguo)
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Wang, XL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: xlwang@red.semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/29
半导体材料残余应力的测试装置及方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-09-20, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
陈涌海
;
赵玲慧
;
曾一平
;
李成基
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提交时间:2009/06/11
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赵有文
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李成基
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段满龙
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孙文荣
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提交时间:2010/11/23
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作者:
李永良
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杨锡震
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周燕
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李承基
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李蕴言
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
李韫言
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蔚燕华
;
李成基
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
李成基
;
李韫言
;
王万年
;
何宏家
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
王万年
;
李成基
;
李韫言
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提交时间:2010/11/23
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夏德宽
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徐绍华
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
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陆大成
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汪度
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王晓晖
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董建荣
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刘祥林
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高维滨
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李成基
;
李蕴言
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
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金泽宸
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李成基
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祝玉灿
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提交时间:2010/11/23