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| 微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2011 作者: 刘云飞 Adobe PDF(5059Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1381/40  |  提交时间:2011/05/31 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Xie Jing; Liu Yunfei; Yang Jinling; Tang Longjuan; Yang Fuhua Adobe PDF(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1039/438  |  提交时间:2010/11/23 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Tang Longjuan; Zhu Yinfang; Yang Jinling; Li Yan; Zhou Wei; Xie Jing; Liu Yunfei; Yang Fuhua Adobe PDF(214Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1188/503  |  提交时间:2010/11/23 |
| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1337/219  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华 Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1617/224  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1786/70  |  提交时间:2011/08/31 |