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中国科学院半导体研究所 18907 中国科学院半导体研究所（2009年前） 8684 半导体超晶格国家重点实验室 2335
中科院半导体材料科学重点实验室 2074 光电子研究发展中心 1825 集成光电子学国家重点实验室 873
中科院半导体照明研发中心 705 半导体集成技术工程研究中心 486 光电系统实验室 438
纳米光电子实验室 319 全固态光源实验室 257 高速电路与神经网络实验室 205
固态光电信息技术实验室 173 光电子器件国家工程中心 113 半导体材料科学中心 111
半导体人工神经网络实验室 76 北京纳米能源与系统研究所 45 高性能集成电路实验室 27
科半公司 8 表面物理国家重点实验室 3