单片平行平板镜光束整形器及其制作方法
韩 淋; 王翠鸾; 冯小明; 刘媛媛; 李 伟; 马骁宇 
2009-05-20
专利权人中科院半导体研究所
公开日期3995
授权国家中国
专利类型发明
申请日期2007-11-15
语种中文
专利状态公开
申请号CN200710177401
专利代理人汤宝平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9166
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
韩 淋,王翠鸾,冯小明,等. 单片平行平板镜光束整形器及其制作方法[P]. 2009-05-20.
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