Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 一种用于微电子机械系统的碳化硅微通道的制作方法 | |
刘兴昉 ; 孙国胜
| |
| 2009-07-01 | |
| 专利权人 | 中科院半导体研究所 |
| 公开日期 | 3999 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2007-12-26 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN200710304217 |
| 专利代理人 | 汤宝平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/8980 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘兴昉,孙国胜. 一种用于微电子机械系统的碳化硅微通道的制作方法[P]. 2009-07-01. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 3425.pdf（405KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [刘兴昉]的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [刘兴昉]的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [刘兴昉]的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论