Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 重掺杂硅中含量的测定 | |
| 马震宇 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 林兰英 ; 郁元桓 |
| 1993 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学科领域 | 半导体材料 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-04-13 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4601 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马震宇. 重掺杂硅中含量的测定[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1993. |
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