利用密封石英玻璃管实现不同材料晶片键合的方法
杨国华; 孙永伟; 何国荣; 肖雪芳
2006-05-31
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-11-25
语种中文
申请号200410009857
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3497
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨国华,孙永伟,何国荣,等. 利用密封石英玻璃管实现不同材料晶片键合的方法[P]. 2006-05-31.
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