| 一种MOCVD设备中的石墨盘 | |
| 胡强; 李晋闽; 王军喜; 曾一平; 路红喜; 伊晓燕; 马平; 魏同波; 闫建昌; 纪攀峰 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体所 |
| 公开日期 | 2016-10-25 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 半导体器件 |
| 申请日期 | 2014-11-06 |
| 申请号 | CN201410641935.8 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27654 |
| 专题 | 中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡强,李晋闽,王军喜,等. 一种MOCVD设备中的石墨盘. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种MOCVD设备中的石墨盘.pdf（761KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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