| 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系统及其方法 | |
| 许兴胜; 高永浩; 黄昕楠; 黎星云 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体所 |
| 公开日期 | 2016-09-28 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 光电子学 |
| 申请日期 | 2015-02-09 |
| 申请号 | CN201510067561.8 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27591 |
| 专题 | 光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许兴胜,高永浩,黄昕楠,等. 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系统及其方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系（820KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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