降低Ni/Au与p-GaN欧姆接触的比接触电阻率的方法 | |
李晓静; 赵德刚; 江德生; 刘宗顺; 朱建军; 陈平 | |
专利权人 | 中国科学院半导体所 |
公开日期 | 2016-09-12 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 光电子学 |
申请日期 | 2014-11-17 |
申请号 | CN201410652670.1 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27467 |
专题 | 光电子研究发展中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李晓静,赵德刚,江德生,等. 降低Ni/Au与p-GaN欧姆接触的比接触电阻率的方法. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
降低Ni_Au与p-GaN欧姆接触的比接(423KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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