沟槽型MOS势垒肖特基二极管及制作方法 | |
郑柳; 孙国胜; 张峰; 刘兴昉; 王雷; 赵万顺; 闫果果; 董林; 刘胜北; 刘斌; 田丽欣; 曾一平 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2013-12-11 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 半导体材料 |
申请日期 | 2013-08-28 |
申请号 | CN201310380403.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25786 |
专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑柳,孙国胜,张峰,等. 沟槽型MOS势垒肖特基二极管及制作方法. |
条目包含的文件 | ||||||
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沟槽型MOS势垒肖特基二极管及制作方法.(544KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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