| 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法 | |
| 韩伟华; 王昊; 马刘红; 洪文婷; 杨晓光; 杨涛; 杨富华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2013-09-18 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 申请日期 | 2013-06-13 |
| 申请号 | CN201310233363.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25549 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩伟华,王昊,马刘红,等. 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 硅基横向纳米线多面栅晶体管及其制备方法.（1312KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [韩伟华]的文章 |
| [王昊]的文章 |
| [马刘红]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [韩伟华]的文章 |
| [王昊]的文章 |
| [马刘红]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [韩伟华]的文章 |
| [王昊]的文章 |
| [马刘红]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论