用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 | |
赵晖 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 杨晋玲 |
2014-05-30 | |
学位授予单位 | 中国科学院大学 |
学位授予地点 | 北京 |
学位专业 | 微电子与固体电子学 |
关键词 | 参考频率源 Mems 谐振器 高阶谐振模态 振荡器 温度补偿 |
学科领域 | 半导体器件 |
公开日期 | 2014-06-03 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25098 |
专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵晖. 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器[D]. 北京. 中国科学院大学,2014. |
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