| 带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法 |
| 朱宇; 李智勇 ; 俞育德; 余金中
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-30
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 一种带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器，所述耦合器采用绝缘体上的硅材料，包括：一硅衬底；一限制层，该限制层制作在硅衬底上；一顶硅层，该顶硅层制作在限制层上，在该顶硅层的表面制作有衍射光栅，在衍射光栅的一侧制作有反射光栅，在衍射光栅的另一侧为锥形波导，该锥形波导长度大于80μm，与锥形波导连接处为亚微米波导；一光纤，该光纤的一端靠近顶硅层上的衍射光栅。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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| 专利号 | CN201010121744.0
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN201010121744.0
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| 专利代理人 | 汤保平
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21955
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| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
朱宇,李智勇,俞育德,等. 带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法. CN201010121744.0.
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