SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
基于微悬臂梁的高灵敏红外光子探测研究
张逢新
学位类型硕士
导师杨晋玲
2011
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域光电子学
公开日期2011-06-03
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20761
专题集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
张逢新. 基于微悬臂梁的高灵敏红外光子探测研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011.
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