4H-SiC 大功率肖特基二极管器件设计及工艺研究 | |
吴海雷 | |
学位类型 | 硕士 |
导师 | 孙国胜 |
2011 | |
学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
学位授予地点 | 北京 |
学位专业 | 微电子与固体电子学 |
学科领域 | 半导体器件 |
公开日期 | 2011-06-01 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20713 |
专题 | 半导体材料科学中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴海雷. 4H-SiC 大功率肖特基二极管器件设计及工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011. |
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