学科主题半导体材料
双束合成低能离子束外延实验机
秦复光; 王向明; 杨光荣; 刘大白; 刘志凯
获奖类别院科技进步奖
获奖等级三等奖
1989
关键词离子束
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10986
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
秦复光,王向明,杨光荣,等. 双束合成低能离子束外延实验机. 1989.
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