Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
学科主题 | 半导体材料 |
双束合成低能离子束外延实验机 | |
秦复光; 王向明; 杨光荣; 刘大白; 刘志凯 | |
获奖类别 | 院科技进步奖 |
获奖等级 | 三等奖 |
1989 | |
关键词 | 离子束 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 成果 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10986 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦复光,王向明,杨光荣,等. 双束合成低能离子束外延实验机. 1989. |
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